产品的背景
某大型的半导体材料开发工厂主在长四角地,注意生产销售加工晶圆和基带芯片。在生产销售加工历程中,晶圆切开和打磨一阶段生产更多机磨液生活污水,单日减排量约50吨。仍然生活污底层的水中含高氧浓度浮悬物、黑色金属正离子及生物碳填加剂,随时减排会对的环境导致的造成 环保问题,工厂主紧缺制作专注加工处理服务设施。
焦化废水因素及原因
碾磨液生产废水重点来历于晶圆制作中的生物自动化机械打磨抛光(CMP)制作工艺,重点的废弃物例如:
悬浮按钮小型颗粒物物
:二空气被氧化硅、空气被氧化铁等磨研颗料,粒度在0.1-1μm,溶度达2000mg/L。
废金属化合物
:铜、铁、锌等,出自于抛光剂垫损伤及晶圆界面合金层,铜亚铁离子氨水浓度约50mg/L。
有机化学加入剂
:属于接触面催化表活剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性类物质
:pH值跌涨大,一般而言在2-11互相。
治疗新工艺方法
对废水整理特点,分为“预整理+什么是生化+深入整理”乐队组合工艺流程:
调准池
:平衡生活饮用水发电量,增长强酸强碱调整pH至比较适中。
混疑沉垫
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),清除飘浮物和溶液,沉降后SS清除率>90%。
促使空气氧化
:使用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)生物降解生物碳加入剂,COD彻底清除率达60%。
生物工程进行处理
:MBR膜生物体生理管式反应器进第一步可降解结余有机质物,COD高于100mg/L之下。
正离子对调
:用硅胶粘合剂离心分离铜阴离子,冒水铜水平<0.5mg/L。
砂滤+活力炭过滤程序
:抓实溢水明净,以达到《废水综合性排放口准则》(GB8978-1996)第一准则。
终于作用
系统化进行相对稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,超过达到标准排放口口,年增多污水排放口口1.5万吨。
正确处理的成本约15元/吨,远压低行业内平均的。