半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
楼盘原型
该家产园聚在一起了十余家半导体材料对应商家,规划日整理效率5000吨,需用整理来自五湖四海各种不同商家的混杂化工废污水。是由于各商家出产工艺设备差异化大,化工废污水有效成分麻烦千变万化,整理難度较高。
废渣组成及主要来源
生活污水主要的包含3个类:高渗透压生物碳物生活污水(光刻胶、显影液液等)、含氟生活污水(刻蚀工艺)和腐蚀性生活污水(擦洗工艺)。异常物质包含异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难生物降解生物碳物物,及其氟化物、氧化还原电位等硅酸危害物。生活污水COD震荡大(500-3000mg/L),氟化物渗透压100-500mg/L,氧化还原电位50-150mg/L。
操作加工制作工艺 过程
使用"分类管理提取+分质治理+聚集长度治理"的全新形式 :
单位内外几大类预处置:含氟生活污水一个人整理并预处置
经济区污水管道分类管理卸料操作系统
标准化调低池均匀水的质量
二级水泥混凝土积累清除悬屏物和溶液
优质生物制品现象器(HBR)加工设计污染破坏物
臭氧老化催化剂的作用氧化的溶解难分析高分子化合物物
反融于系统的实现脱盐处里
分光光度计线灭菌抓实出液安全卫生
尤其设计了高清在线检测装置和一键投药装置,如何应对土质波动性。
终结结果
设计启动5年来,办理的效果固定可信度。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,到地下水Ⅳ类标准化,大部分工业废水处理于工业产业园做绿化及急冷塔补水保湿,工业废水处理率可超过30%。每季度少鲜美水应用约30万吨,为工业产业园行业节省成本煤气费数千70万。