某半导体材料厂在生產期间中安全使用硝酸银系定影液,生成高溶液浓度含NOx生产废水,日工作量50吨。生产废水里含NO2-超过2000mg/L,且带有氢化物发生器设计光刻胶成份,工作一定难度极大。
2. 工业废水组成及源于
定影道工序废渣(最主要的污染问题源)
晶圆洗涤废渣
尾气洗涤剂塔排水沟
3. 鑫霖环保设备程序流程
采用了"专业氧化的+有级菌物工作"改革创新方法:
三氧氧化反应
:借助活性氧形成器所产生O3,将难挥发可挥发物溶解为小大分子成分,同样将NO2-氧化的为NO3-。
微生物膜反馈器(MBR)
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独一级:缺养生态环境下加药系统甲醇有所作为碳源,使得反反硝化细菌不起作用
其二级:好氧动物膜进几步分解设计物
电有机化学的深度办理
:用于钛基镀层参比电极,实现电解抛光使用齐全细化残留物污染源物。
4. 终结感觉
NOx总氮减至8mg/L下类
COD安稳在30mg/L以內
废气回收率达60%
设备执行耗能设定在3.5kWh/吨水,较传统式的工艺工业节能20%。