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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆出产线一体化的超超纯水程序,一整天形成含硅生产废水150吨。生产废自来水中虽无天价属,但硅水分含量高易积垢,且电阻值率需超过18MΩ·cm就能回收利用。应有治疗制作工艺没有实现新修订的《网上轻工业水环境破坏物排卸标淮》(GB39731-2020)特意排卸规定值。 生活污水基本成分基本特征 通常废弃物物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(孔径0.1-1μm) 非常规让 :TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L 土质基本特性 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物形式比较复杂 操作的工艺方法 全新用"梯级膜离心分离+电去铁离子"结合制作工艺: 微滤预治理 :1μm陶瓷厂家膜阻止大粒状硅,通量保证80LMH 化合物置换树脂胶 :D201大孔树脂材料确定性吸硅酸碳原子 二次RO模式 :一是段出售率60%,最后段用高脱硼膜组件 EDI电去正离子 :功率密度计算公式2A/m²,持继删去稳定度铝离子 紫外线消菌 :254nmUV紫外线,线的用药量40mJ/cm² 技术应用创新举措 发掘专门用阻硅剂(有机肥料胺类组合物),减缓膜弄脏周期长3倍 EDI引擎科技创新流道装修设计,硅消除率提拔至99.8% 优酷云硅分享仪(测定范围之内0.1-500μg/L)改变靶向有效控制 操作举措 经再次方论文检测: 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L减少为0.3μg/L 机系统收购 率从原40%优化至68% 膜换成阶段廷长至5年,年进行投资成本变低35%

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